संपूर्ण अर्धचालक उद्योग श्रृंखला में, प्रसंस्करण और निर्माण सबसे महत्वपूर्ण लिंक में से एक है। इतने बड़े बाजार के साथ, सेमीकंडक्टर प्रक्रिया उपकरण सेमीकंडक्टर बड़े पैमाने पर निर्माण के लिए विनिर्माण आधार प्रदान करता है। यह पत्र इस बात पर ध्यान केंद्रित करेगा कि अर्धचालक उत्पादन प्रक्रिया में मुख्य उपकरण क्या हैं।
1, सिंगल क्रिस्टल फर्नेस
उपकरण समारोह: अर्धचालक सामग्री पिघला, बाद के अर्धचालक उपकरण निर्माण के लिए एकल क्रिस्टल खींचें, एकल क्रिस्टल अर्धचालक बिलेट प्रदान करें।
प्रमुख अंतरराष्ट्रीय ब्रांड: PVA TePla AG (जर्मनी), Ferrotec (जापान), QUANTUM DESIGN (USA), Gero (जर्मनी), KAYEX (USA)।
प्रमुख घरेलू ब्रांड: बीजिंग जिंग्युनटोंग, सेवन स्टार हुआक्सुआंग, बीजिंग जिंगी सेंचुरी, हेबेई जिंगलोंग सनशाइन, शी [जीजी] #39; एक जिंको टेक्नोलॉजी, चांगझौ हुआशेंग तियानलोंग, शंघाई हानहोंग, शी [जीजी] #39; एक हुआडे, 48वां संस्थान चीन इलेक्ट्रॉनिक्स प्रौद्योगिकी समूह, शंघाई शेनहे थर्मल चुंबकीय।
2. गैस चरण एपिटैक्सियल फर्नेस
उपकरण कार्य: गैस चरण एपिटैक्सियल विकास के लिए विशिष्ट प्रक्रिया वातावरण प्रदान करने के लिए, एकल क्रिस्टल पर एकल क्रिस्टल चरण के साथ संबंधित संबंध के साथ पतली परत क्रिस्टल के विकास का एहसास करने के लिए, और एकल क्रिस्टल डूबने के कार्यात्मक प्राप्ति के लिए बुनियादी तैयारी करने के लिए। गैस चरण एपिटॉक्सी रासायनिक वाष्प जमाव की एक विशेष प्रक्रिया है, जिसमें विकास की पतली परत की क्रिस्टल संरचना एकल क्रिस्टल सब्सट्रेट की निरंतरता है और सब्सट्रेट के क्रिस्टल अभिविन्यास से मेल खाती है।
प्रमुख अंतरराष्ट्रीय ब्रांड: सीवीडी उपकरण, जीटी, सोइटेक, एएस, प्रोटो फ्लेक्स, कर्ट जे। लेस्कर, एप्लाइड मैटेरियल्स।
प्रमुख घरेलू ब्रांड: चीन इलेक्ट्रॉनिक्स प्रौद्योगिकी समूह 48 वें संस्थान, क़िंगदाओ सेरिडा, हेफ़ेई कोजिंग सामग्री प्रौद्योगिकी कं, लिमिटेड, बीजिंग जिनशेंग माइक्रो नैनो, जिनान लिगुआन इलेक्ट्रॉनिक प्रौद्योगिकी कं, लिमिटेड।
3. आण्विक बीम एपिटैक्सी सिस्टम
उपकरण कार्य: आणविक बीम एपिटैक्सी सिस्टम, विशिष्ट के अनुसार नीचे की सतह पर फिल्म को विकसित करने के लिए प्रक्रिया उपकरण प्रदान करता है; मॉलिक्यूलर बीम एपिटैक्सी (एमबीईए) सिंगल क्रिस्टल थिन फिल्म तैयार करने की एक तकनीक है। इसका उपयोग उपयुक्त सब्सट्रेट और उपयुक्त परिस्थितियों में सब्सट्रेट के क्रिस्टल अक्ष के साथ परत दर परत पतली फिल्मों को विकसित करने के लिए किया जाता है।
प्रमुख अंतरराष्ट्रीय ब्रांड: रिबर (फ्रांस), वीको (यूएसए), डीसीए इंस्ट्रूमेंट्स (फिनलैंड), एसवीटीएएसोसिएट्स (यूएसए), एनबीएम (यूएसए), ओमिक्रॉन (जर्मनी), एमबीई-कोम्पोनेंटेन (जर्मनी), ऑक्सफोर्ड एप्लाइड (यूके) रिसर्च (ओएआर) ) कंपनी।
प्रमुख घरेलू ब्रांड: शेनयांग झोंगके इंस्ट्रूमेंट कं, लिमिटेड।, बीजिंग ह्यूडेक्सिन टेक्नोलॉजी कं, लिमिटेड।, शाओक्सिंग कुआंगताई इंस्ट्रूमेंट इक्विपमेंट कं, लिमिटेड।, शेनयांग कीउ वैक्यूम टेक्नोलॉजी कं, लिमिटेड।
4. ऑक्सीकरण भट्टी (VDF)
उपकरण समारोह: अर्धचालक सामग्री ऑक्सीकरण उपचार के लिए, अर्धचालक ऑक्सीकरण उपचार प्रक्रिया के अपेक्षित डिजाइन को प्राप्त करने के लिए आवश्यक ऑक्सीकरण वातावरण प्रदान करें, अर्धचालक प्रसंस्करण प्रक्रिया में एक अनिवार्य कड़ी है।
प्रमुख अंतरराष्ट्रीय ब्रांड: यूके थर्मको कंपनी, जर्मनी सेंट्रोथर्म थर्मल सॉल्यूशंस जीएमबीएच कंपनी केजी कंपनी।
प्रमुख घरेलू ब्रांड: बीजिंग सेवन स्टार हुआक्सुआंग, क़िंगदाओ फ्रींडे, चीन इलेक्ट्रॉनिक्स प्रौद्योगिकी समूह 48 वां संस्थान, क़िंगदाओ ज़ुगुआंग इंस्ट्रूमेंट इक्विपमेंट कं, लिमिटेड, चाइना इलेक्ट्रॉनिक्स टेक्नोलॉजी ग्रुप 45 वां संस्थान।
5. कम दबाव रासायनिक वाष्प जमाव प्रणाली (एलपीसीवीडी)
उपकरण कार्य: गैसीय या तरल प्रतिक्रिया-एजेंट युक्त वाष्प जो फिल्म के तत्वों का गठन करता है और प्रतिक्रिया के लिए आवश्यक अन्य गैसों को एलपीसीवीडी उपकरण के प्रतिक्रिया कक्ष में पेश किया जाता है, और फिल्म सब्सट्रेट सतह पर रासायनिक प्रतिक्रिया से उत्पन्न होती है .
प्रमुख अंतरराष्ट्रीय ब्रांड: हिताची इंटरनेशनल इलेक्ट्रिक कंपनी,
प्रमुख घरेलू ब्रांड: शंघाई चिजियन सेमीकंडक्टर टेक्नोलॉजी कं, लिमिटेड, चाइना इलेक्ट्रॉनिक्स टेक्नोलॉजी ग्रुप 48 वां इंस्टीट्यूट, चाइना इलेक्ट्रॉनिक्स टेक्नोलॉजी ग्रुप 45 वां इंस्टीट्यूट, बीजिंग इंस्ट्रूमेंट फैक्ट्री, शंघाई मशीनरी फैक्ट्री।
6. प्लाज्मा संवर्धित रासायनिक वाष्प जमाव प्रणाली (PECVD)
उपकरण समारोह: बयान कक्ष में चमक निर्वहन का उपयोग करें, इसे आयनित करें और अर्धचालक पतली फिल्म सामग्री जमा करने के लिए सब्सट्रेट पर रासायनिक प्रतिक्रिया करें।
प्रमुख अंतरराष्ट्रीय ब्रांड: प्रोटो फ्लेक्स (यूएसए), टोक्की (जापान), शिमदसू (जापान), लैम रिसर्च (यूएसए), एएसएम इंटरनेशनल (नीदरलैंड)।
प्रमुख घरेलू ब्रांड: चीन इलेक्ट्रॉनिक्स प्रौद्योगिकी समूह 45 वां संस्थान, बीजिंग इंस्ट्रूमेंट फैक्ट्री, शंघाई मशीनरी फैक्ट्री।
7. मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग टेबल (एमएसए)
उपकरण कार्य: द्विध्रुवी स्पटरिंग में लक्ष्य सतह के समानांतर एक बंद चुंबकीय क्षेत्र के माध्यम से, और लक्ष्य सतह पर गठित ऑर्थोगोनल विद्युत चुम्बकीय क्षेत्र, उच्च आयन घनत्व और उच्च प्राप्त करने के लिए माध्यमिक इलेक्ट्रॉन लक्ष्य सतह के विशिष्ट क्षेत्र से बंधे होते हैं ऊर्जा आयनीकरण, और लक्ष्य परमाणुओं या अणुओं को एक फिल्म बनाने के लिए उच्च दर स्पटरिंग के साथ सब्सट्रेट पर जमा किया जाता है।
प्रमुख अंतरराष्ट्रीय ब्रांड: पीवीडी कंपनी, वेपोर्टेक कंपनी, एएमएटी कंपनी, हौज़र कंपनी, टीयर कंपनी, प्लैटिट कंपनी, बाल्ज़र्स कंपनी और सेमेकॉन कंपनी।
प्रमुख घरेलू ब्रांड: बीजिंग इंस्ट्रूमेंट फैक्ट्री, शेनयांग झोंगके इंस्ट्रूमेंट कं, लिमिटेड, चेंगदू नानगुआंग इंडस्ट्रियल कं, लिमिटेड, चाइना इलेक्ट्रॉनिक्स टेक्नोलॉजी ग्रुप 48 वें संस्थान, केरुई इक्विपमेंट कं, लिमिटेड, शंघाई मशीनरी फैक्ट्री।
8. रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग मशीन (सीएमपी)
उपकरण समारोह: यांत्रिक पीस और रासायनिक तरल विघटन के माध्यम से [जीजी] उद्धरण; जंग [जीजी] उद्धरण; संयुक्त प्रभाव का, लैप किया जाना (अर्धचालक) पॉलिश करना।
प्रमुख अंतरराष्ट्रीय ब्रांड: एप्लाइड मैटेरियल्स, नॉरफा सिस्टम्स, आरटेक।
प्रमुख घरेलू ब्रांड: लान्झोउ लैनक्सिन हाई-टेक इंडस्ट्री कं, लिमिटेड, एलाइट माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक।
9, लिथोग्राफी मशीन
डिवाइस फ़ंक्शन: अर्धचालक सब्सट्रेट (सिलिकॉन वेफर) की सतह पर समान रूप से गोंद, मुखौटा पर पैटर्न को फोटोरेसिस्ट में स्थानांतरित करें, और अस्थायी रूप से [जीजी] उद्धरण; प्रतिलिपि [जीजी] उद्धरण; सिलिकॉन वेफर के लिए उपकरण या सर्किट संरचना।
प्रमुख अंतरराष्ट्रीय ब्रांड: एएसएमएल (नीदरलैंड), पैन लिन सेमीकंडक्टर, निकॉन, कैनन, एबीएम, एसयूएसएस, मायक्रो।
प्रमुख घरेलू ब्रांड: चीन इलेक्ट्रॉनिक्स प्रौद्योगिकी समूह 48 वें संस्थान, चीन इलेक्ट्रॉनिक्स प्रौद्योगिकी समूह 45 वें संस्थान, शंघाई मशीनरी फैक्टरी, चेंगदू नानगुआंग औद्योगिक कं, लिमिटेड।
10. प्रतिक्रियाशील आयन नक़्क़ाशी प्रणाली (आरआईई)
उपकरण कार्य: आयन परत सैकड़ों माइक्रोन मोटी का उत्पादन करने के लिए प्लेट इलेक्ट्रोड के बीच उच्च आवृत्ति वोल्टेज लागू किया जाता है, और आयन उच्च गति प्रभाव पैटर्न को रासायनिक प्रतिक्रिया नक़्क़ाशी और भौतिक प्रभाव प्राप्त करने के लिए, और अर्धचालक प्रसंस्करण प्राप्त करने के लिए पैटर्न में रखा जाता है। और मोल्डिंग।
प्रमुख अंतरराष्ट्रीय ब्रांड: जापान इवाटेक कंपनी, संयुक्त राज्य अमेरिका नैनोमास्टर कंपनी, सिंगापुर आरईसी कंपनी, दक्षिण कोरिया जुसुंग कंपनी, दक्षिण कोरिया टीईएस कंपनी।
प्रमुख घरेलू ब्रांड: बीजिंग इंस्ट्रूमेंट फैक्ट्री, बीजिंग Qixing Huachuang Electronics Co., LTD., Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., China Electronics Technology Group अड़तालीस संस्थान।
11. आईसीपी प्लाज्मा नक़्क़ाशी प्रणाली
उपकरण कार्य: एक या एक से अधिक गैस परमाणु या अणु प्रतिक्रिया कक्ष में मिश्रित, बाहरी ऊर्जा (जैसे रेडियो फ्रीक्वेंसी, माइक्रोवेव, आदि) की क्रिया के तहत एक प्लाज्मा बनाने के लिए, एक तरफ, प्लाज्मा में सक्रिय समूह और सतह सामग्री को उकेरने के लिए रासायनिक प्रतिक्रिया, वाष्पशील उत्पाद उत्पन्न करना; दूसरी ओर, प्लाज्मा में आयनों को निर्देशित किया जाता है और नक़्क़ाशीदार सतह के दिशात्मक क्षरण और त्वरित क्षरण का एहसास करने के लिए पूर्वाग्रह दबाव की कार्रवाई के तहत त्वरित किया जाता है।
प्रमुख अंतरराष्ट्रीय ब्रांड: ऑक्सफोर्ड इंस्ट्रूमेंट्स (यूके), टोर (यूएसए), गैटन (यूएसए), कोरम (यूके), लीमन (यूएसए), पेल्को (यूएसए)।
प्रमुख घरेलू ब्रांड: बीजिंग इंस्ट्रूमेंट फैक्ट्री, बीजिंग किक्सिंग हुआचुआंग इलेक्ट्रॉनिक्स कं, लिमिटेड, चाइना इलेक्ट्रॉनिक टेक्नोलॉजी ग्रुप 48 वां संस्थान, गोडर आयन टेक्नोलॉजी (हांगकांग) होल्डिंग कं, लिमिटेड, इंस्टीट्यूट ऑफ माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक, चाइनीज एकेडमी ऑफ साइंसेज, नॉर्थ माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक , बीजिंग ओरिएंटल जिचेंग कं, लिमिटेड, बीजिंग ट्रैंड्स वीना टेक्नोलॉजी।
12, गीली नक़्क़ाशी और सफाई मशीन
उपकरण कार्य: गीली नक़्क़ाशी जंग प्रौद्योगिकी के लिए नक़्क़ाशी समाधान में भिगोने वाली नक़्क़ाशी सामग्री है। सफाई संदूषण को कम करने के लिए है, जो डिवाइस के प्रदर्शन को प्रभावित कर सकता है, विश्वसनीयता की समस्या पैदा कर सकता है, और उपज को कम कर सकता है, जिसके लिए अगली प्रक्रिया की प्रत्येक परत से पहले या अगली परत से पहले पूरी तरह से सफाई की आवश्यकता होती है।
प्रमुख अंतरराष्ट्रीय ब्रांड: स्क्रीन (जापान), SEMES (कोरिया), टोक्यो इलेक्ट्रॉन (जापान), लैम रिसर्च (अमेरिका)।
प्रमुख घरेलू ब्रांड: नान्चॉन्ग Hualin Kona सेमीकंडक्टर उपकरण कं, लिमिटेड, बीजिंग Qixing Huaxuang Electronics Co., LTD., China Electronics Technology Group 45th Institute, Taiwan Hongsu।
13. आयन आरोपण मशीन (आईबीआई)
उपकरण समारोह: अर्धचालक की सतह के पास के क्षेत्र को डोपिंग।
प्रमुख अंतरराष्ट्रीय ब्रांड: वेरियन सेमीकंडक्टर इक्विपमेंट, इंक., CHA, INC., AMAT, Inc. और वेरियन सेमीकंडक्टर मैन्युफैक्चरिंग इक्विपमेंट, इंक. (AMAT द्वारा अधिग्रहित)।
प्रमुख घरेलू ब्रांड: बीजिंग इंस्ट्रूमेंट फैक्ट्री, चाइना इलेक्ट्रॉनिक्स टेक्नोलॉजी ग्रुप 48 वें संस्थान, चेंगदू नानगुआंग इंडस्ट्रियल कं, लिमिटेड।, शेनयांग फांगजी लाइट इंडस्ट्री मशीनरी कं, लिमिटेड।, शंघाई सिलिकॉन टॉप माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक कं, लिमिटेड।
14, जांच परीक्षण बेंच
डिवाइस फ़ंक्शन: सेमीकंडक्टर डिवाइस के पैड के साथ जांच संपर्क के माध्यम से, यह जांचने के लिए विद्युत परीक्षण किया जाता है कि सेमीकंडक्टर का प्रदर्शन सूचकांक डिजाइन प्रदर्शन आवश्यकताओं को पूरा करता है या नहीं।
प्रमुख अंतरराष्ट्रीय ब्रांड: जर्मनी इनगुन कंपनी, क्यूए कंपनी, माइक्रोएक्सएक्ट कंपनी, इकोपिया कंपनी, लीनो कंपनी।
प्रमुख घरेलू ब्रांड: चाइना इलेक्ट्रॉनिक्स टेक्नोलॉजी ग्रुप 45वां इंस्टीट्यूट, बीजिंग किक्सिंग हुआचुआंग इलेक्ट्रॉनिक्स कं, लिमिटेड, रुइके इंस्ट्रूमेंट्स, हुआरोंग ग्रुप, शेनझेन सेनमेई शीयर टेक्नोलॉजी।
15. वेफर पतली मशीन
समारोह: पॉलिश करके वेफर की मोटाई कम करें।
अंतर्राष्ट्रीय मुख्य ब्रांड: जापान डिस्को कंपनी, जर्मनी जी [जीजी] amp; एन कंपनी, जापान ओकामोटो कंपनी, इज़राइल कैमटेक कंपनी।
प्रमुख घरेलू ब्रांड: लान्चो लैनक्सिन हाई-टेक इंडस्ट्री कं, लिमिटेड।, शेन्ज़ेन फोंडा ग्राइंडिंग इक्विपमेंट मैन्युफैक्चरिंग कं, लिमिटेड।, शेन्ज़ेन जिनज़िली प्रिसिजन ग्राइंडिंग मशीन मैन्युफैक्चरिंग कं, लिमिटेड।, वीआंडा ग्राइंडिंग इक्विपमेंट कं, लिमिटेड।, शेन्ज़ेन हुआनिफेंग प्रौद्योगिकी कंपनी लिमिटेड।
16. वेफर स्क्रिबिंग मशीन (डीएस)
डिवाइस फ़ंक्शन: वेफर, डाई के छोटे टुकड़ों में काटा जाता है।
प्रमुख अंतरराष्ट्रीय ब्रांड: जर्मनी ओईजी कंपनी, जापान डिस्को कंपनी।
प्रमुख घरेलू ब्रांड: चीन इलेक्ट्रॉनिक्स प्रौद्योगिकी समूह, बीजिंग केचुआंग ने स्रोत फोटोइलेक्ट्रिक प्रौद्योगिकी सह।, लिमिटेड, शेनयांग इंस्टीट्यूट ऑफ इंस्ट्रूमेंटेशन टेक्नोलॉजी, नॉर्थवेस्ट मशीन कं, लिमिटेड, (70 9 फैक्ट्री) शुरू करके उत्तर पश्चिमी मशीन फैक्ट्री, हुई शेंग इलेक्ट्रॉनिक इलेक्ट्रॉनिक मशीनरी और उपकरण कंपनी, लान्चो: लेजर, एक उच्च तकनीक उद्योग सह।, लिमिटेड, शेन्ज़ेन रूबी लेजर उपकरण सह।, लिमिटेड, वू हंसन कार्यकर्ता, ज़ुहाई लियानोप्ट्रोनिक्स, ज़ुहाई यूमाओ प्रौद्योगिकी।
17. वायर बॉन्डर
डिवाइस फ़ंक्शन: सेमीकंडक्टर चिप पर पैड को पिन पर पैड के साथ प्रवाहकीय धातु के तार (सोने के तार) से कनेक्ट करें।
प्रमुख अंतरराष्ट्रीय ब्रांड: अमेरिकन ओट्टे, जर्मन टीपीटी, ऑस्ट्रिया एफके, मलेशिया यूनिसेम।
प्रमुख घरेलू ब्रांड: चाइना इलेक्ट्रॉनिक्स टेक्नोलॉजी ग्रुप 45वां इंस्टीट्यूट, बीजिंग ट्रांसहिजी टेक्नोलॉजी डेवलपमेंट कं, लिमिटेड, युक्सिन (चेंगदू) इंटीग्रेटेड सर्किट पैकेजिंग एंड टेस्टिंग कं, लिमिटेड। (मलेशिया युनिसन निवेश), शेन्ज़ेन काइजी ऑटोमेशन उपकरण कं, लि।